半導(dǎo)體制造行業(yè)，高純度有毒氣體如硅烷（SiH?）、PH?）、（AsH?）等的應(yīng)用極為廣泛，但這些氣體一旦泄漏，不僅可能引發(fā)爆炸、中毒等嚴(yán)重事故，還會(huì)對(duì)精密設(shè)備造成不可逆的損害。如何確保生產(chǎn)環(huán)境的安全？高純度有毒氣體報(bào)警器成為半導(dǎo)體制造企業(yè)的“安全剛需"。艾伊科技AG310/AG311系列有毒氣體探測(cè)器，憑借模塊化設(shè)計(jì)、高精度傳感和智能報(bào)警功能，正成為行業(yè)安全監(jiān)測(cè)的產(chǎn)品。半導(dǎo)體制造行業(yè)為何需要專用高純度有毒氣體報(bào)警器？

半導(dǎo)體制造過(guò)程中，氣體純度直接影響芯片良率，而有毒氣體泄漏的危害更不容忽視。例如，硅烷泄漏可能引發(fā)自燃，濃度超標(biāo)會(huì)導(dǎo)致人員中毒，傳統(tǒng)氣體報(bào)警器可能因傳感精度不足、抗干擾能力弱，無(wú)法滿足半導(dǎo)體車間對(duì)微量泄漏（ppm級(jí)）和復(fù)雜氣體共存環(huán)境的監(jiān)測(cè)需求。而高純度有毒氣體報(bào)警器通過(guò)半導(dǎo)體傳感技術(shù)，可精準(zhǔn)識(shí)別單一氣體濃度，避免交叉干擾，確保報(bào)警準(zhǔn)確性。

AG310/AG311：模塊化設(shè)計(jì)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)定制化需求

艾伊科技AG310/AG311系列有毒氣體探測(cè)器采用模塊化傳感器設(shè)計(jì)，用戶可根據(jù)車間氣體種類（如硅烷、氨氣等）靈活更換檢測(cè)模塊，實(shí)現(xiàn)“一機(jī)多用"。其核心參數(shù)如下：

檢測(cè)范圍：0-100ppm（支持定制量程）；

響應(yīng)時(shí)間（T90）：≤30秒，快速捕捉泄漏；

報(bào)警方式：大光圈聲光報(bào)警+三組開(kāi)關(guān)量輸出，可聯(lián)動(dòng)排風(fēng)、切斷閥等設(shè)備；

防護(hù)等級(jí)：IP66，適應(yīng)潔凈室、無(wú)塵車間等嚴(yán)苛環(huán)境。

高純有毒氣體氣體監(jiān)測(cè)儀：從預(yù)警到聯(lián)動(dòng)的全流程防護(hù)

半導(dǎo)體車間對(duì)安全響應(yīng)速度要求。AG310/AG311系列不僅支持本地聲光報(bào)警，還可通過(guò)開(kāi)關(guān)量信號(hào)與DCS、PLC系統(tǒng)對(duì)接，實(shí)現(xiàn)泄漏自動(dòng)處置。例如，某12英寸晶圓廠部署該設(shè)備后，當(dāng)濃度達(dá)5ppm時(shí)，系統(tǒng)立即觸發(fā)排風(fēng)裝置，10秒內(nèi)將濃度降至安全閾值，避免人員中毒和設(shè)備腐蝕。

結(jié)語(yǔ)：高純度有毒氣體報(bào)警器，守護(hù)半導(dǎo)體制造的“芯"安全